真空箱氦檢漏回收設備優缺點及注意事項
- 2020-10-15-
氦質譜檢漏是指從真空室外部向被檢部位吹入氦氣,然后通過與真空室相連的真空箱的氦檢漏回收裝置檢測侵入的氦氣,是目前最常用的真空檢漏方法。真空箱氦檢漏回收設備的基本原理描述如下:燈絲產生的熱電子加速流入陽極,遇到氣體分子后電離。當離子向收集器方向運動時,設置一個磁場,使離子在洛倫茲力的作用下沿圓形軌跡運動。質量為m、電荷為e的離子的圓軌道半徑與質荷比m/e有關。適當設置出氣口的位置,使m/e=4,即He+可以通過出氣口,而與氦不同質荷比的其他離子不能通過出氣口。由于其偏轉半徑與儀器的狹縫設置不同,真空箱的氦檢漏回收裝置只能檢測一價氦離子。真空箱氦氣檢漏回收裝置性能穩定,靈敏度高。評價真空箱氦氣檢漏回收設備的主要指標是靈敏度、反應時間、清除時間、工作真空度、極限真空度和儀器入口抽氣速度。使用氦氣檢測氣體的主要原因有:(1)對人體和自然環境無害;(2)不能安全燃燒和工作;(3)惰性氣體和被測物體不會發生化學反應;(4)分子直徑小,質量小,容易通過微小縫隙,容易被檢測到泄漏;(5)正常環境下,氣體狀態不會堵塞漏氣孔;(6)真空室本身釋放的氣體幾乎不含氦氣;(7)氦氣在空氣中只存在5ppm,很容易定位氣體泄漏點。由于氦氣比空氣輕得多,所以當氦氣被送到真空室進行檢漏時,要自上而下操作,否則不利于泄漏點的判斷。當腔體結構復雜或泄漏率極小時,可以將關鍵部件包裹在塑料袋中,然后向塑料袋中注入氦氣,實現對關鍵部件的泄漏率檢測。一般來說,真空檢漏主要集中在以下幾個方面:(1)法蘭接口;(2)焊縫;(3)波紋管;(4)其他密封處。實驗室發現漏氣較多的原因是:密封面或墊片不干凈,法蘭螺栓扭矩不均勻。
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