“63kv及以上的GCB和GIS生產必備條件”中，高壓電器行業提出產品必須滿足技術要求和安全要求。SF6氣體作為高壓開關設備絕熱滅弧介質，產品要求開關內部的SF6氣體泄漏較小，即具有良好的密封性能。因此在再制造過程中要對各部件及出廠整機進行檢漏，高壓電器所使用的氦質譜檢漏儀更方便，操作更簡單，檢漏效果也更好。過去常采用鹵素檢漏儀進行檢漏，但由于靈敏度低，難免會出現漏檢或錯檢，造成總裝后產品氣密性不合格，造成返工，不僅浪費人力物力，而且延誤生產周期。因為使用氦質譜檢漏儀彌補了傳統檢漏方法的不足，可對漏點、漏率進行檢測。根據被檢工件的具體情況確定氦質譜檢測方法：1.對于體積較小的零件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊件等，用氦罩法對被檢工件進行抽空，將被檢工件調至漏率(10-11Pa.m3/s)，然后對氦罩進行沖氦，同時觀察漏率顯示，一次增大表明工件不合格。2.對于較大的工件，采用背壓發射器，根據工件體積試用不同尺寸的檢漏罐。一般情況下，工件被沖入0.6MPa純氦或氦氣(含量30%)-氮混合氣中，然后裝入檢漏罐中。首先通過輔助抽氣系統抽到5帕以下，關閉抽氣閥，打開檢漏閥，進行檢漏。漏報率超過指定的值就是不合格。三、分裝機和總裝機均采用吸入式。工件噴入氦氮混合氣體中，用吸槍在工件的裝配面或疑是漏點上找漏。泄漏量大于規定值的儀器顯示有漏。北京科儀創新真空技術有限公司是一家專業從事真空設備、氦質譜檢漏儀、氫氣檢漏儀、超高真空等產品的企業。聚集了國內外一大批從事真空檢測的專業技術人員，一直致力于真空箱氦氣檢測、真空箱氫氣檢測系統的研究。在能源短缺的未來世界里，科儀創新公司一直致力于研究替代氦氣作為示宗氣體的檢漏設備，因為氦氣的能源短缺。經過我司科研人員2012年的不懈努力。氫檢漏系統是在反復試驗、論證后產生的。