氦檢漏設備由于具有檢測靈敏度高，反應速度快，定位定量準確等優點，已得到廣泛應用，但在長期的使用過程中，經常發生故障或現象，影響設備的正常使用。下面談談對氦檢漏設備的維護注意事項：1.如果不每天使用氦檢漏設備，建議每周開機檢查，使高真空系統保持真空，縮短氦檢漏設備使用時的開機時間2.在安裝過程中，應避免安裝部位發生泄漏，可利用氦檢漏設備進行自身檢漏。三、適時對氦檢漏設備中可能發生的泄漏部位(如放氣閥等)進行自檢漏，發現漏點后應及時取出清理或固定，以免在檢漏過程中影響檢漏工作。四、氦檢漏設備的維護，定期維護油泵。5.(處理散熱口灰塵，檢查更換泵油)禁止任何外來物落在或灑在氦檢漏設備上，特別是在進氣口，因為氦檢漏設備為精密設備，其存放和使用環境應保持清潔、衛生。這個氦檢漏設備只能用于經過訓練或合格的設備維修工程師。6.使用時，要注意觀察氦檢漏設備的工作狀態，一旦發現問題(如振動大、噪音大等)，應立即停止運行。渦輪機分子泵高速運轉時，如果移動氦檢漏設備，很容易使分子泵內的葉片與轉子筒發生碰撞。立即斷電并排除故障。當心內部泄漏，當在氦檢漏設備內部發生泄漏時，會對檢漏工作產生很大的干擾，容易造成誤檢和誤判。零件接頭處的密封部分。例如放大器-質譜室，離子源-質譜室，分子泵-質譜室，標準漏孔-閥組，真空計-閥組等接口間的橡膠圈密封。用噴氦法尋找漏點，更換密封圈。