真空箱氦檢漏回收設備應用技術
- 2020-10-15-
在科技不斷發展的時代,真空箱氦檢漏回收設備及其應用技術也在不斷發展和完善。這主要是由兩個因素決定的:一方面檢漏回收設備的應用技術不斷對真空箱氦氣檢漏回收設備提出新的要求,迫使真空箱氦氣檢漏回收設備自我更新;另一方面,真空箱氦氣檢漏回收設備在隨時隨地的應用過程中也補充了現有氦氣檢漏回收的一些不足,兩者之間是相輔相成、相互促進的關系。真空箱氦氣檢漏和回收設備的進步,經過近半個世紀的努力,今天的真空箱氦氣檢漏和回收設備已經告別了20世紀40年代初的局面。主要體現在以下幾個方面:(1)便攜:最近各國推出的小型便攜式真空箱氦氣檢漏回收設備,不僅靈敏度高,而且攜帶方便,為野外作業和高空作業提供了極大的便利。(2)高壓檢漏:檢漏口壓力可高達數百Pa,有利于檢測大型系統和大泄漏工件。(3)自動化程度高:氦峰自動校準、零點自動調整、自動量程轉換、自動數據處理、外置打印機。整機由微電腦控制,具有菜單選擇功能,一鍵操作,整個檢漏過程一次完成。(4)無油干式檢漏:一些國家生產的設備可以采用干式泵來達到無油蒸氣的效果,為無油系統、芯片等半導體器件的檢漏提供了有利條件。(5)檢漏范圍廣:現在的生產設備質量范圍廣,不僅可以檢測氦氣,還可以檢測其他氣體。分子泵的排氣系統取代了擴散泵的排氣系統,不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題,也為儀器的快速啟動和關閉做出了很大貢獻。為了適應檢漏口壓力的變化和不同的靈敏度要求,分子泵一般采用多級結構和幾種不同的速度。例如,這可以通過改變分子泵的速度和提高泄漏檢測的靈敏度來實現。此外,反向擴散檢漏方法實現了高壓檢漏,為檢漏提供了良好的條件。
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