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　　真空法氦質譜檢漏

　　用真空法檢測泄漏時，應使用輔助真空泵或檢漏儀，將真空抽出被檢產品內部密封艙，并通過氦氣蓋或注入的方法，將氦氣應用于被檢產品外部。當被檢產品表面有孔時，氦可以通過泄漏孔進入被檢產品內部，通過氦光譜檢漏儀測量被檢產品的泄漏量。根據氣體泄漏方法的不同，真空法可分為真空噴射法和真空氦氣覆蓋法。其中真空噴射法可以使用噴槍將氦氣噴射到被檢產品的外表面，準確地找到泄漏的孔。真空氦氣覆蓋法使用具有一定密封功能的氦氣覆蓋物，覆蓋所有檢查的產品，覆蓋物內充滿一定濃度的氦氣，可以測定檢查產品的總泄漏率。

　　真空法的優點是感知靈敏度高，可以指定準確的位置，可以檢測大型集裝箱或復雜結構產品的泄漏。

　　真空法的缺點是只能實現一個氣壓差異的泄漏率檢測，不能準確反映壓力檢查產品的實際泄漏情況。

　　真空法的檢驗標準主要是QJ3123-2000 《氦質譜真空檢漏方法》、GB  /T  15823-2009 《氦泄漏檢驗》，主要適用于真空密封性能要求，但也主要適用于沒有壓力的產品，如空間活動部件、氫氣罐、環境模擬設備等。

　　正壓氦質譜檢漏

　　用正壓法檢測泄漏時，被檢產品內部的密封艙要填滿高于大氣壓力的氦氣，被檢產品表面有孔時，氦氣會鉆洞進入被檢外部表面的周圍大氣環境，通過吸入槍的方式，在被檢產品周圍的大氣環境中檢測到氦氣濃度增加，實現被檢產品泄漏測量。根據氦收集方式，正壓法可分為正壓吸入法和正壓累積法。其中正壓吸入槍法可以使用檢波器吸入器對被檢產品的外表面進行掃描，以確保泄漏孔的準確位置。正壓累積法使用具有一定密閉功能的氦氣蓋覆蓋所有檢查過的產品，利用漏氣吸入器測定一段時間前后氦氣內氦氣濃度的變化量，準確測定檢查過的產品總泄漏率。

　　正壓法的優點是不需要輔助真空系統，確定準確的位置，在任何工作壓力下都能檢測到。

　　正壓法的缺點是感知靈敏度低，檢查結果不確定性大，受測量環境條件的影響較大。

　　正壓法的檢查標準主要是QJ3089-1999 《氦質譜正壓檢漏方法》、QJ2862-1996 《壓力容器焊縫氦質譜吸槍罩盒檢漏試驗方法》，主要適用于高壓密封容器產品的泄漏檢測，如高壓氦氣瓶、門泄漏等。

　　真空壓力氦質譜檢漏

　　使用真空壓力法檢測泄漏時，需要將被檢產品全部放入真空密封室，真空密封室與輔助真空系統及檢漏儀連接，被檢產品的膨脹接口通過連接管拉出真空密封室后與氦氣源連接，被檢產品表面有泄漏時，氦氣可以通過泄漏孔進入真空密封室，通過氦氣光譜檢漏儀測量被檢產品的總泄漏率。真空壓力法的優點是檢測靈敏度高，可以檢測任何工作壓力，反映被檢物的實際泄漏狀態。

　　真空壓力法的缺點是泄漏檢測系統復雜，需要根據被檢查產品的體積和形狀設計真空密封室。需要說明的是，在泄漏檢測過程中，必須進行特殊的結構設計，以防止膨脹管道接口泄漏，或將所有膨脹管道連接接口放置在真空密封室外部。

　　真空壓力法的檢查標準是GB  /T  15823-2009 《氦泄漏檢驗》，主要適用于電磁閥、高壓膨脹管、推進劑水箱、天線、應答機、成型產品等結構簡單、壓力不高的密封產品。

　　背壓法氦質譜檢漏

　　用背壓法檢測泄漏時，首先將被檢入高壓氦氣室的產品浸泡數小時或數天，如果被檢出的產品表面有孔，氦氣就會通過泄漏壓入被檢出產品的內部密封腔，從而導致內部密封腔中氦氣分壓上升。然后，取出被檢的產品，去除表面的剩余氦氣，然后將被檢的產品放入連接到檢查器的真空容器中，被檢產品內部密封腔內的氦氣通過泄漏泄漏泄漏到真空容器中，進入氦氣光譜檢漏儀，即可測量被檢產品的總泄漏率。探測器給出的泄漏率值是測量泄漏率，被檢查產品的等效標準泄漏率應通過轉換公式計算。

　　背壓法的優點是感知靈敏度高，允許小型密封容器產品的泄漏檢測，可以進行大規模檢測。

　　背壓法的缺點是不能泄漏大型密封容器。否則，密封腔的體積太大，加壓時間太長。另外，每個測量泄漏率對應兩個同等的標準泄漏率，仔細檢查完成后，應通過其他方法粗體檢查，以消除大泄漏的可能性。

　　背壓法的泄漏標準主要是QJ3212-2005 《氦質譜背壓檢漏方法》、GJB360A-1996 《電子及電氣元件試驗方法方法112 密封試驗》，主要適用于各種電子元件產品泄漏。

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