北京氦質譜檢漏儀的優點集中體現在以下方面：

1.便攜式：北京氦質譜檢漏儀不僅靈敏度高，而且攜帶方便，為野外作業和高空作業提供了較大的方便。

2.高壓強下檢漏：檢漏口壓強可達數百帕左右，適合于大型系統和有大漏口的工件。

3.高度自動化：自動校準氦峰，自動調整零點，自動量程轉換，自動數據處理，可外接打印機。整臺機器采用微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕就可以完成整個漏檢過程。

4.完全不含油干檢漏：在某些情況下生產的檢漏裝置，可以使用干泵，以達到不含油蒸汽的效果，為不含油系統和芯片等半導體器件的漏電提供了有利條件。

5.檢漏范圍大：北京氦質譜檢漏儀質量范圍大，不僅可以探測氦氣，還可以探測其他氣體。分子泵排氣系統代替擴散泵排氣系統，不僅解決了油蒸汽對質譜室的污染，而且大大提高了儀器的快速啟動和快速停止能力。

為了適應檢漏口壓強的變化和靈敏度要求的不同，分子泵通常采用多層結構和多種不同的轉速。如采用改變分子泵轉速可以實現這一目的，并可提高檢漏靈敏度。此外，反擴散檢漏方式實現了高壓強下的檢漏，也為泄漏的檢測創造了有利條件。

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