氦質譜檢漏儀在真空度校驗中的應用

 氦質譜檢漏儀是利用氦氣作為示漏氣體，用氣體剖析儀對氦氣進行檢漏的質譜儀。

 氦是一種惰性氣體，不會對設備產生腐蝕，對容器環境和質譜環境干擾較小，常作為泄漏氣體使用。

 在接有檢漏儀(即調整到只對氦氣反應的工作狀態的氣體剖析儀)的被檢容器上噴射該氣體，如果容器有漏孔，分析儀就會發出響聲，從而知道漏孔的位置和漏氣量。氦質譜檢測泄漏技術是真空檢測領域中不可缺少的一項技術，由于其檢測效率高、簡便易行、儀器反應靈敏、準確度高、不受其它氣體干擾等特點，在電阻爐檢測泄漏中被廣泛應用。

 將氦氣注入到一定的壓力下，然后用正壓式探傷裝置探傷所有接頭。發現有漏點的記錄將與起泡器序列號一一對應，如果出現超出用戶設置的大允許結果漏點，將立即予以回放。接著，10臺一排排的起泡裝置上安裝了無油前級泵和渦輪分子泵。通過軟件的完全控制，外部管道抽真空和保持工作狀態，然后操作員使用外部噴霧觀察所有接頭，質譜系統就可以監控任何氦泄漏。經漏水測試后，將汽化器抽真空，烘烤。

 試驗后，質譜儀系統將對氣泡體及連接管內氣體進行主動分析。為確保實驗結果的準確性，所有鼓泡器中水、氧和溶劑的濃度都必須小于1ppm。測試后，應提醒操作者測試結果是否合格，并記錄所有的測試數據，以便追蹤。

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