常用的氦質譜檢漏設備方法

        氦質譜檢漏方法有很多種，根據被檢件的測量目的可分為兩類，一類是漏點型，另一類是漏率型。在實際檢驗過程中，應根據檢驗目的選擇合理的方法，并根據被檢設備的具體情況靈活運用各種檢漏方法。

1、檢測泄漏點氦質譜泄漏的方法。

確定漏點類型不僅是確定要檢查零件的具體漏點或漏孔的位置，而且常見于衛星、導彈、彈頭、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐等大部件。

2、噴氦法氦質譜泄漏檢測方法。

這是常用的方法。一般用于檢測體積相對較小的零件，連接被檢測器件和儀器。抽真空后，在被檢測器件可能有漏孔的地方(如密封接頭、焊縫等)用噴槍噴氦氣。)。如果被檢測器件的某個地方有漏孔，氦氣會立即被吸入真空系統，從而擴散到質譜室。氦質譜檢測器的輸出會立即響應。使用這種方法，應該注意:氦氣是一種輕惰性氣體，噴出后會自動上升。為了準確地在漏孔位置噴灑氦氣，應從上到下，從近到遠(相對檢測器位置)。這是因為氦氣在噴灑下方可能被上方漏孔吸入，很難確定漏孔的位置。此外，氦氣漏孔與質譜室的距離檢測器的反應時間也不同，因此噴灑應從檢測器的一側開始從近到遠。

在檢測大型零件時，通過機械泵進行真空預抽，可以提高泄漏檢測效率和時間。氦氣噴射法在檢查結構復雜、密封口和焊縫多、擠壓在一起的小容器時，由于氦氣噴射后會迅速擴散，往往不容易準確確定泄漏間隙的位置。應從不同角度噴氦氣，仔細觀察反應時間的差異，并用真空密封泥暫時密封發現的泄漏孔，以便逐個檢測泄漏孔。

3、吸氦法氦質譜泄漏檢測方法。

氦氣吸收法主要用于檢查一些大型密封容器。如導彈彈體、彈頭、氣罐、油罐等。，首先將容器抽真空，然后將氦氣充入容器(為了節約氦量，可以使用低濃度氦氣)，將橡膠管連接到氦質譜泄漏檢測器的進氣法蘭上。橡膠管的前端有直徑小的毛細管，使毛細管在充氦的被檢測容器外壁的焊縫和密封接頭上移動。如果容器有泄漏，泄漏的氦會被毛細管吸入，泄漏檢測器會響應。

4、檢測泄漏率氦質譜泄漏的方法。

泄漏測量型主要對密封要求嚴格的零件，如宇宙飛船、火箭液體燃料儲料箱、衛星、電子元件等。該方法只能測試試件的泄漏率，不能確定泄漏的位置和數量。