氦質譜檢漏儀介紹
一,為什么要檢漏?
泄漏與密封相對應。在許多情況下,我們需要密封一定的空間,以防止氣體或液體在壓力下流入或流出這個空間。例如,真空設備(真空涂層機、液晶注射器、聚氯乙烯、半導體延遲等。)需要在真空條件下工作。工作時,空氣不能泄漏到工作室,否則生產不能進行,或者產生劣質產品,浪費人力物力。此外,裝有液體或氣體的容器(液壓氣瓶、氧氣瓶、空調冰箱中的雪容器等。)如果容器內外有壓差,就不能有氣體或液體泄漏。如果泄漏,后果嚴重,一般會造成有效材料的浪費,如有毒材料和腐蝕性氣體泄漏,甚至導致事故。
對密封性能有要求的產品和設備在使用前必須進行泄漏檢查,使用中必須定期進行泄漏檢查。
第二,計算泄漏率。
可以簡單理解為:單位時間、單位體積容器、壓力變化。以下兩個例子可以直觀地知道泄漏率。
這種程度的泄漏非常嚴重,泄漏率非常高。我們可以通過常用的泄漏檢測方法檢測泄漏點:將輪胎放入水中,有氣泡的地方是泄漏點。
第三,檢漏儀的檢漏原理。
檢測泄漏的方法有兩種:
1.將跟蹤氣體A放入容器中,處于正壓,然后用儀器檢測容器周圍是否有氣體A。如果容器外面有氣體A,容器會泄漏。這樣可以檢測泄漏點,大致判斷泄漏程度。這種泄漏檢測方法稱為Sniffer泄漏檢測或正壓泄漏檢測。
2.向容器外噴灑跟蹤氣體a,用儀器檢查容器內是否有氣體a。這種方法可以檢測泄漏點和泄漏率。這種泄漏檢測方法稱為真空泄漏檢測。
如何選擇泄漏檢測方法與檢測對象的工作環境密切相關,盡量與檢測對象的工作狀態一致。如果檢測對象工作時內部處于正壓,則采用正壓模式,如果檢測對象工作時內部處于負壓,則采用真空模式。
第四,選擇示蹤氣體。
跟蹤氣體的要求:
1.無害,不損害人體或環境。
2.輕便,惰性氣體,能穿透細縫。
3.化學性質穩定,無化學反應,易燃易爆。
4.只有空氣中含量盡可能少的氣體才能滿足檢測泄漏靈敏度的要求。
5.一般來說,氦被用作泄漏檢測的跟蹤氣體,氫也被用作泄漏檢測的跟蹤氣體。
第五,空氣中主要氣體的特性。
氫氦是一種理想的跟蹤氣體:空氣中含量低、重量輕、運動速度快、線性運動距離長。在實際使用中,相對容易獲得,可以大量使用。但是氫在使用中存在一定的安全問題,所以大部分泄漏檢測都是氦。
第六,檢漏儀結構。
氦質譜檢漏儀實際上可以說是氦儀,通過檢測氦的含量來確定是否有泄漏。氦檢測采用質譜儀,是一種只檢測氦的特殊質譜儀,可以屏蔽其它品質的氣體。
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