隨著科技的不斷發展，真空箱氦檢漏回收設備應用技術也在不斷發展和完善。

造成這種現象的主要原因有二：一是真空箱氦檢漏回收設備的應用技術不斷對真空箱氦氣泄漏檢測回收設備提出新的要求，迫使其自我更新；另一方面，真空箱氦檢漏回收設備在真空箱氦氣泄漏檢測回收中不斷的完善。通過近半個世紀的努力，真空箱內泄漏檢測與回收裝置的研制與上世紀40年代初期的發展大相徑庭。

(1)氦檢漏儀：各國近期推出的小型便攜式真空箱檢漏回收裝置，不僅靈敏度高，而且攜帶方便，十分方便野外作業和高空作業。

(2)高壓檢漏：檢漏口壓力可達數百個，有利于檢測大型系統和大型泄漏工件。

(3)高自動化：氦峰自動校準，自動調零，范圍自動轉換，數據自動處理，外接打印機。全機采用微電腦控制，具有菜單選擇功能，一鍵操作，全過程一次完成。

(4)無油干燥檢測泄漏：有些國生產的設備可采用干泵達到無油蒸汽效果，這為無油系統、晶片等半導體設備的泄漏檢測提供了有利條件。

(5)檢漏范圍廣：目前生產的設備具有廣泛的質量，不僅能探測氦氣，而且能探測其他氣體。

以分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，既解決了油蒸汽對質譜室的污染，又大大促進了儀器快速開閉。為了滿足不同的檢漏口壓力和不同靈敏度的要求，分子泵通常采用多段結構，不同的速度。比如，可以通過改變分子泵的速度和提高泄漏探測的靈敏度來實現。另外，用反向擴散方法實現高壓泄漏檢測，為泄漏檢測提供了良好的條件。